Engineering Service
エンジニアリングサービス
Lam Research社製のエッチング装置をメインに装置と工場のファシリティ関連(電気・ガス・冷媒など)との接続工事からセッティング・本稼働のフォローまでの新規装置立上げ業務全般を行っています。 装置のパフォーマンス維持のための定期メンテナンスや装置のアップグレード作業も行っています。
半導体製造装置とは?
コンピュータ、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器などに用いられている半導体を製造するための装置のことです。半導体の製造工程では、ナノメートル単位(10億分の1メートル)単位の加工精度が求められるため、極めて高精度な加工技術と信頼性が必要となります。
エッチング装置とは?
シリコンウェーハ基板の表面から選択した領域にある不要な薄膜を除去するための装置であり、用途別では、「シリコン用」「絶縁膜用」「金属膜用」の3つに大別されます。
CVD装置とは?
Chemical Vapor Depositionの略で様々な物質の薄膜を形成する蒸着方法の1つで、目的となる薄膜の原料ガスを供給し、熱、光、プラズマなどのエネルギーを与えることで、化学反応により基板の表面上に膜を吸着・堆積するための装置です。
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